第338章 EUV光刻机研发，先奖5000万！邓小岩感动了？(第1/2 页)

科研，如逆水行舟，不进则退。

70纳米光刻机研发成功，难道陈皓心里不高兴吗？

当然高兴。

但他心里很清楚，这点领先远远不够。

他要的是……

碾压！

让欧美绝望的碾压！

另一边，听到陈皓这么说，众人神情一滞。

第二轮研发？

“浸润式光刻机极限是多少纳米？”陈皓看向众人。

“45纳米？”

“我觉得能到30纳米左右。”

一群科学家七嘴八舌。

对他们而言，更高精度没深入研究，主要靠自身认知推测，给不了准确答案。

“大胆一点！”

陈皓一字一顿道：“一旦解决光源问题，加上更多细节提升，极限能达到7纳米！”

哗！

此话一出，众人皆惊。

要知道，他们刚研发出来的，精度只有70纳米而已。

7纳米光刻机！

提高多少？

简直是骇人听闻！

当然，用同样的浸润式技术，想达到7纳米极限精度，会有一个漫长过程。

“校长。”陈皓沉声喊道。

“到！”

谢武立刻上前。

其他场合，他称呼陈皓为小陈，但在今天这场合……

陈皓如将军。

他为士兵。

士兵必须听命于将军——军令如山！

“由你牵头组建团队，对浸润式光刻机深度研发，开发深紫外光技术。”陈皓下达指令。

经过第一轮研发，浸润式技术已经成熟。

提高精度的核心是光源。

当然，其他方面也要提升，但难度相对低很多。

“是！”谢武激动坏了。

深紫外光？

他听过，却没有相关研究。

以他对陈皓的了解，肯定会给出技术资料，而他也将有机会成为，该领域研发第一人！

“陈总，这……”

杜杨和顾经纶傻眼了。

新一轮研发中，谢武直接组建团队，他俩难道要打下手？

莫非……

谢武是上交大校长，跟陈总有师生之名。

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